Н А Н О Т Е Х Н О Л О Г И И
ОГЛАВЛЕНИЕ
1. Общие сведения
2. Изготовление монокристалла
3. Разрезка монокристалла
4. Изготовление фотошаблонов
5. Полупроводниковые микросхемы
6. Легирование диффузией
7. Легирование имплантацией
8. Оценка пробивного напряжения
9. Оценка удельного сопротивления
10. Проектирование полупроводниковых резисторов
11. Фотолитография
12. Расчет топологических областей
13. Осаждение тонких пленок
14. Тонкопленочные резисторы
15. Основы тонкопленочной технологии
16. Коммутационные платы микросборок
17. Крепление подложек и кристаллов
18. Монтаж кристаллов
19. Изготовление печатных плат
20. Обзор новых технологий
Контрольные вопросы

10. Проектирование полупроводниковых резисторов в ИМС.

Структура и топология резистора, сформированного в полупроводниковом материале, приведены на рис. 15. Сопротивление резистора складывается из сопротивления линейной части, которое подчиняется выражению R=Rсл×l/a, и сопротивления приконтактных областей, которое определяется через эмпирический коэффициент k, выраженный в долях Rсл.

(35)

Коэффициент k зависит от формы и размеров приконтактной области и ширины а линейной части резистора. Он определяется по номограммам, приведенным в табл. 3. Размер а должен быть минимально возможным, но следует учитывать, однако, возможности технологии и требования точности сопротивления (с уменьшением ширины точность уменьшается).

Для расчета минимальных размеров приконтактных областей используются правила, изложенные в разделе 12. Подробные сведения о расчете резисторов читатель может найти в [ ]. После определения а и k по выражению (35) определяют длину l линейной части резистора. Для формирования резисторов могут быть использованы любые слои физической структуры ИМС. В практике проектирования и производства находят применения резисторы на основе эмиттерного слоя (сопротивления в несколько десятков Ом), базового слоя (от сотен до нескольких тысяч Ом), слоя активной базы (десятки тысяч Ом, так называемые "ПИНЧ-резисторы").

 
Перейти к преведущей странице Перейти наверх страницы Перейти к следующей странице
Hosted by uCoz